工欲善其事，必先利其器。广东省特种设备检测研究院顺德检测院近期成功引入先进的液体颗粒度仪和光谱椭偏仪，两个“新利器”为该院半导体高纯材料检测服务注入了强大的“新能力”。

“新利器”RION液体颗粒度仪KS-41A。该设备采用了先进的光阻法原理，能够快速、准确地检测液体中粒径范围 0.15-0.5μm的微小粒子，并可任意设定10个通道同时进行。该设备专为控制半导体制造过程中使用的化学品中的粒子而设计，如光刻胶材料、SOG、超纯水和清洗用化学剂（包括碱、有机溶剂和酸）等。与传统检测方法相比，该设备具有更高的灵敏度和稳定性，能够更好地满足客户对高质量检测服务的需求。

“新利器”光谱椭偏仪。作为一种高精尖的光学测量设备，光谱椭偏仪以其独特的非接触式测量方式实现对薄膜厚度、光学常数及材料微结构的精准探测，是半导体及集成电路制造领域不可或缺的高端检测工具。引入该设备后，顺德检测院将提供光刻胶等关键薄膜材料的折射率、消光系数及膜厚等参数的测试分析服务，涵盖通用数据分析、已知样品分析及未知样品分析等多个层面，并针对不同类型的未知样品（如透明、半吸收半透明、全吸收样品）采取不同的模拟分析方法，确保分析结果的准确性。

为充分发挥新设备的优势，10月29日和11月5日，顺德检测院还组织了专业的技术培训，确保检测人员熟练掌握新设备的操作方法和维护技巧，为今后检测工作的顺利开展打下扎实基础。

    今年以来，顺德检测院积极响应“广东强芯”工程的号召，不断加快建设和完善平台硬件、仪器设备、人才队伍、服务能力等自身能力，着力为推动粤港澳大湾区乃至我国半导体产业的新发展不断贡献广东特检力量。（理化室 供稿）