近日，广东省市场监督管理局办公室印发《关于深入实施检验检测促进产业优化升级行动的通知》，公布了12个检验检测促进产业优化升级行动重点项目。广东省特种设备检测研究院顺德检测院（佛山光刻胶材料检测技术工程技术研究中心）申报的《建设集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台》项目成功入选。

该项目将着力建设粤港澳大湾区首个集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台。截至目前，已建成常规实验室、千级洁净室，正在建设百级洁净室；配备了30多台套可用于半导体高纯材料研究领域的先进检测仪器设备，可开展痕量金属元素、颗粒度、膜厚等关键项目参数的检测分析能力，光刻胶水分、粘度等检测项目通过了CNAS认可。同时，基于现有资源条件和预期发展规划，开展了元素含量、颗粒、曝光量等半导体及集成电路材料领域的124项参数入库申请工作。平台全部建成后，将为广东省乃至华南地区众多的半导体及集成电路材料企业提供检测、试验、标准等多元化技术服务，有助于解决我省半导体及集成电路材料共性检测与研发问题，补齐产业链短板，为助推我省制造业高质量发展提供有力支撑。

此外，为进一步促进广东省半导体及集成电路战略性新兴产业集群迈向全球价值链高端，推动光刻材料研发生产及集成电路产品质量测评等质量基础设施建设，今年以来，顺德检测院还通过持续投入和研发突破了集成电路材料检测能力的高技术门槛，开发光刻材料检测方法5套，形成质量体系文件1套，开展检测方法标准研制5项，研制了2套可用于光刻材料纯化的工艺系统并推广应用，已为多家半导体从业单位提供超痕量金属元素检测分析、超净高纯溶剂纯化过滤等技术服务。同时，顺德检测院积极申报筹建“广东省质量监督光刻材料检验站（佛山）”“广东省半导体高纯材料工程技术研究中心”，以加快建设面向光刻材料测试表征的产、学、研一体化工作的公共技术服务平台。

以此为契机，顺德检测院将继续密切跟踪研究国内外先进技术动态，更新配置现代化的仪器设备，积极引进和培养专业技术人才，增强技术研发和测试分析能力，全力将集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台建设成为省内领先、国内一流的光刻材料综合性服务机构。再次基础上，进一步发挥广东特检的技术优势，通过对光刻材料领域先进技术的科研攻关、成果孵化、市场化推广，助推我省乃至全国半导体产业持续发展壮大。（理化室 供稿）