3月13日，广东省特种设备检测研究院顺德检测院引进的进口开放式曝光机，在完成安装调试与技术培训后正式投入使用，不仅为粤港澳大湾区半导体及集成电路产业核心材料的国产化攻关再添“硬核砝码”，也填补了华南地区高端光刻胶性能测试的空白。

该设备作为全国市监系统及第三方技术机构中首台专业级光刻胶感光性能测试设备，具备三大核心功能：一是通过精确调节曝光能量，可准确获取光刻胶的感度，为光刻胶性能评估提供关键数据支持；二是该设备提供的参数是光刻模拟过程中不可或缺的核心数据，为光刻工艺的优化和改进提供了有力依据；三是支持采集在曝光过程中释出的离子或有机物，并搭配分析设备对浸没液体进行全面检测，确保光刻过程的稳定性和可靠性。

该设备检测效率相较于传统方法提升了40%。该设备投用后，标志着顺德检测院在先进光刻材料研发应用能力方面实现了质的飞跃，将为我国“实现ArF浸没胶量产”关键战略部署提供更高阶的中试服务，助推半导体产业高质量发展。

目前，顺德检测院已与多家光刻材料企业达成了技术合作，今后将为企业的光刻胶研发应用提供便捷、专业的中试服务支持，助力企业加速产品研发进程。未来，顺德检测院将继续深耕技术领域，重点攻关并完善光刻材料相关的检测技术，努力构建从材料表征到工艺验证的全链条服务体系，为粤港澳大湾区打造“中国芯”产业高地贡献新的更大力量。（理化室 供稿）