2月28日，佛山市召开中试产业发展推进会。会上，广东省特种设备检测研究院顺德检测院作为60家佛山市第二批中试平台、概念验证中心之一，获得“佛山市半导体高纯材料研发应用中试平台”授牌。

中试是推动科技成果转化的关键环节，是助力完成科技成果走向市场的“重要推动器”。对此，近年来，顺德检测院积极投身建设粤港澳大湾区首个半导体高纯材料研发应用中试平台。该平台由集成电路用光刻材料超痕量检测分析与超净高纯湿电子化学品纯化工艺验证两大功能板块组成。目前已建设的超痕量检测分析实验室场地完全满足需要，具备对半导体高纯材料的检测能力，测试元素含量可达到ppt级别，在国内同行业专业水平前列，并保证相关检测仪器设备达到国际先进水平；自主研制多套可适用于光刻材料、湿电子化学品的金属杂质过滤系统，纯化技术方案实现对电子化学品中杂质的深度去除，将杂质含量降低至满足高端光刻工艺要求的杂质极低水平。

今后，顺德检测院将依托“佛山市半导体高纯材料研发应用中试平台”，积极开展科技成果转化工作，提供产品检测、研制等一站式服务，打通成果转化 “最后一公里”，助力大湾区乃至我国半导体产业高质量发展。（理化室 供稿）