广东省集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台

佛山市半导体高纯材料研发应用中试平台

检测服务能力及办事指南

一、平台简介

顺德检测院是广东省市场监督管理局直属事业单位，广东省检验检测认证研究院集团有限公司下属成员单位，具有CMA、CNAS等资质的综合类检测机构。为积极响应“广东强芯”工程号召，顺德检测院已建成“广东省集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台”“佛山市光刻材料工程技术研究中心”“佛山市半导体高纯材料研发应用中试平台”，拥有ICP-MS/MS、LPC、IC、曝光机、椭偏仪、TGA、FTIR、SEM+EDS等仪器设备与设施52台套（净值超过3800万元），旨在为社会提供半导体超净高纯材料制备、纯化、分析等环节的中试研发、加工测试等配套支持，以及从实验室到产业化的过渡服务，助力突破高端芯片材料“卡脖子”难题。

二、检测标准

GB/T 39486-2020 化学试剂 电感耦合等离子体质谱分析方法通则

GB/T 34672-2017 化学试剂 离子色谱法测定通则

SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T 11638-2016 电子化学品中颗粒的测试方法

委托单位提供的其他检测方法（本机构可胜任时）

三、适用范围

面向光刻材料、湿电子化学品、超纯水等提供化学分析、理化性能、分离纯化等检测或技术服务，如下：

1. 痕量金属元素、阴阳离子、液体颗粒等检测

2. 膜厚、粘度、密度、固含量、含水率、电阻率、pH、接触角等

3. 光刻胶感光性能测试（Eth感度、AB参数、透过率）

4. 分离纯化（有机溶剂、醇类等）

四、服务流程

1.       业务咨询

联系方式：0757-22337616，18038802594、15768650817（微信同号）

确定检测（或服务）项目、送检样品类型和数量要求，以及服务收费标准。

2.       填写委托受理单

（1）委托受理单中的委托方相关信息请仔细填写，各项内容应真实有效，与实际情况相符。

（2）样品检测项目、测试条件、测试要求应在委托单中标明。

（3）委托方将委托单全部信息确认后签字（签章），快递或扫描至本机构。

3.       通知缴费

按收费通知书指引缴费。原则上先缴费后检测，大额协议规定除外。

4.       送检（现场或快递）

地址：广东省佛山市顺德区陈村镇广隆工业区兴业六路3号

收件人：半导体材料中心（黄华佑）

邮编：528300

电话：15768650817

注：请保留快递单号。

5.       检测并出具报告

（1）一般情况下，收到样品（且已缴费）后7个工作日完成检测并出具报告。加急或特殊情况除外，以双方沟通为准。

（2）报告及剩样（必要时）默认按受理单上填写的联系电话或邮箱进行通知及送达。

五、服务优势

（1）具有材料研发、工艺验证及测试分析综合服务能力.

（2）拥有经验丰富的高校、产业及检测技术专家团队，可满足个性化、定制化服务需求。

（3）拥有相对完整的湿电子化学品测试分析及性能评估能力。