5月25至26日，广东省特种设备检测研究院顺德检测院到国内某知名半导体领先企业交流学习半导体无机元素分析技术，并为引进该先进技术、提升半导体实验室检测能力奠定基础。

近年来，顺德检测院抢抓“双碳”战略和半导体产业快速发展的机遇，积极推进光刻胶材料检测专业实验室的建设规划、质量体系等基础工作，并成立了“佛山市光刻胶材料检测技术工程技术研究中心”，半导体检测能力稳步提升。

半导体检测是一个涉及内容很广且不断迭代发展的技术领域。交流中，顺德检测院与企业负责人围绕半导体产业发展情况、半导体实验室建设、ICP-MS/MS分析方法等进行了探讨交流，并就真实样品的实验室检测演示及真机测试、维护等进行了学习培训。ICP-MS/MS分析方法是将电感耦等离子体(ICP)技术和质谱(MS)技术结合，利用等离子体作为离子源，用质谱仪对离子进行质量检测，根据所得质谱图进行定性定量分析，其灵敏度高、分析速度快、多元素同步分析等优点在半导体研发中起到关键作用。顺德检测院拟引入该项检测技术，为半导体行业提供专业权威的检测服务和技术支持。

    下一步，顺德检测院将进一步落实新发展理念，抢抓发展新机遇，从硬件建设、仪器设备、人才队伍等方面不断提升半导体实验室检测能力，推动“芯”服务再上新台阶，为布局半导体实验室检测服务市场、助力半导体产业高质量发展不断贡献广东特检力量。（理化室 供稿）