7月5日至10日，广东省特种设备检测研究院顺德检测院派出技术人员到上海大学微电子学院微纳加工平台参加“集成电路紧缺人才培训项目”。7月11日，两名技术人员赶往上海某国际领先的高纯材料研发及检测中心交流学习。

两个活动，不同内容，但瞄准的是同一个目标：为进一步提升半导体材料检测服务能力“蓄势聚能”。

近年来，随着半导体产业的蓬勃发展，产业链上的重要环节——半导体材料检测需求日益迫切。为此，今年以来，顺德检测院抢抓机遇，在平台建设、技术提升、人才培养、服务升级等方面齐头并进，推动半导体材料检测能力“加速奔跑”，为特检事业高质量发展注入了新的“强劲动力”。

发力“平台建设”。依托国家工业锅炉质量检验检测中心（广东），在“佛山市光刻胶材料检测技术工程技术研究中心”的基础上，精心打造集科研、检测、宣教于一体的综合性专业检测平台——广东省质量监督光刻材料检验站。该平台目前已建成千级洁净室约130平方米，拥有百级超净台8台套，更大面积的洁净实验室预计今年内全部建成，届时将成为粤港澳大湾区首屈一指的半导体材料第三方检测机构。

发力“服务升级”。今年以来，顺德检测院在仪器设备、检测技术、科研攻坚等方面不断升级服务能力。一方面，新购置电感耦合等离子体质谱仪、双通道离子色谱仪等一批高精度检测设备，实现超痕量检测能力的新飞跃。另一方面，引进开放式曝光机、自动涂胶显影系统等工艺设备，实现光刻胶研发配方的快速迭代，形成集材料、工艺、测试为一体的整体评价实验室。此外，携手华南理工大学、华中科技大学、西安交通大学等高校研究团队，加强半导体材料检测领域的科研攻坚。

发力“技术提升”。为紧跟全球半导体技术发展的步伐，顺德检测院今年以来已参加了中国国际半导体技术大会、第六届深圳国际半导体技术暨应用展览会、2024势银（第四届）光刻材料产业大会等一系列行业盛会，及时了解和掌握国际半导体材料检测技术领域的最新趋势与动向。同时，近两年来，该院积极与复旦大学等知名高校以及国内多家光刻胶材料研发及应用领先企业开展技术合作，持续巩固和提升专业检测技术和能力。

发力“人才培养”。人才队伍是技术创新和服务升级的关键所在。今年以来，顺德检测院多次选派技术人员到上海、广州等地参加“半导体材料与器件分析检测技术”培训班、上海大学“集成电路紧缺人才培训项目”、半导体专题-等离子发射光谱仪培训班，同时安排他们到优秀企业一线设备研发车间跟班学习，组织与行业内知名机构和企业开展交流活动，帮助技术人员理解和掌握半导体制造工艺、检测技术、操作技巧等，为持续提升半导体材料检测能力提供有力的人才保障。

接下来，顺德检测院将积极响应“广东强芯”工程的号召，进一步加快和完善平台硬件、仪器设备、人才队伍、服务能力等自身能力建设，持续提升“芯”服务，为粤港澳大湾区以至我国半导体产业的“芯”发展不断贡献广东特检力量。（理化室 供稿）