4月17至18日，为期两天的“半导体高端装备仪器创新发展与推广应用论坛”在江苏省苏州市举行，广东省特种设备检测研究院顺德检测院作为大湾区半导体检测技术领域的标杆机构之一，应邀参加了活动。

论坛期间，顺德检测院参会人员积极与来自政府、高校、科研院所及半导体龙头企业的参会代表，围绕集成电路制造核心装备国产化、电子化学品检测技术创新等战略议题开展交流，助力国产首台套装备仪器研制和推广应用。

与此同时，顺德检测院还积极与复旦大学、某知名半导体制造企业等单位开展针对性研讨活动，共同探讨当前国内半导体产业在实际生产过程中面临的检测难题和技术瓶颈。其中，针对28nm以下制程工艺所需电子化学品纯化技术中金属杂质控制、纯化工艺等关键参数难题，顺德检测院依托其在材料表征、精密检测领域的技术积淀，从检测、工艺等方面进行了工作分享。通过深入交流，大家一致期望加强技术联合攻关，共同努力打破国外技术垄断，为我国半导体产业突破超净高纯电子化学品技术提供关键支撑。

随着论坛成果的持续落地，国内半导体装备领域的产学研合作矩阵正在加速成型。今后，顺德检测院将继续加强在技术研发、标准制定等方面的学习、交流与合作，持续探索半导体检测领域的新技术、新工艺，为国产半导体装备产业化不断书写“广东特检”答卷。（理化室 供稿）