5月20至23日，广东省特种设备检测研究院顺德检测院派出技术人员赴珀金埃尔默-华北电力大学共建实验室参加为期四天的“NexION 5000系列电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）”专项学习培训，实现半导体材料痕量检测能力再跃升。

全链条学习。此次培训结合“理论+实操+考核”的方式开展，技术人员系统学习了ICP-MS离子化原理、质量分析器构造等核心理论，开展了碰撞模式（KED）、动态反应池技术（DRC）、日常调谐、高级优化等实操训练，并在专家指导下完成了10组实际样品上机操作。

产学研交流。培训期间，技术人员积极与光刻胶材料生产企业、研发机构及高校专家开展研讨活动，围绕电感耦合等离子体质谱仪的检测方法、切换方法的技巧及如何优化参数实现“测得准”、如何降低背景值以达到ppt级别的测试要求等议题进行了深入交流。通过跨领域思维碰撞，技术人员进一步明确检测技术优化方向，为解决半导体材料痕量分析中的行业共性难题积累了宝贵经验。

能力再跃升。通过参加此次学习培训，技术人员全面掌握了NexION 5000的深度应用，从而在半导体材料痕量检测能力上实现关键突破。同时，借助对检测及工艺数据的深度挖掘、精细处理与全面分析，该院半导体材料痕量检测能力将从“技术跟跑”向“自主创新”跨越。

此次培训是顺德检测院落实“以学促干”的重要实践，标志着其在半导体检测领域的技术储备与服务能力迈上新台阶。以此为契机，顺德检测院将依托广东省集成电路制造用光刻材料检测分析技术服务平台、佛山市半导体高纯材料研发应用中试平台的“双载体”优势，联合高校加快关键技术攻关，面向市场提供专业化检测服务，为打造 “中国芯” 产业高地注入特检技术动能。（理化室 供稿）